Das moderne Gerät für reproduzierbare und homogene Beschichtungen

Der neue SpinCoater SC-700 ist eine spezielle Entwicklung für das homogene Beschichten von sowohl regelmäßig wie auch unregelmäßig geformten Objekten unterschiedlichster Abmessungen. Auch eventuell notwendige Vorbehandlungen der Oberfläche vor dem Lackieren kann der SpinCoater automatisch durchführen. Das Gerät eignet sich besonders für die Produktion im Reinraum.

Mögliche Anwendungen:

• Nano-Coating
• Mikrooptik
• Brillengläserproduktion
• Solarzellenproduktion
• CD/DVD-Produktion
• Photolackbeschichtung
• Mikrosystemtechnik
• Biochemische Sensortechnologie
• Halbleiterproduktion (Wafer)
• und vieles mehr...

Das innovative Konzept des SpinCoaters mit moderner Steuerung und flexibel anpassbaren Prozessparametern ermöglicht die schnelle Adaption an unterschiedlichste Aufgabenstellungen.

Hohe Prozessqualität:

• Hochgenauer Dispenser
• Minimalste Schichtdickenschwankungen
• Reproduzierbare Beschichtung
• Komplettes Teilehandling im laminaren Flow-Down
• Multifunktioneller Beschichtungsarm
• Sehr sparsamer Verbrauch der verwendeten Medien
• Herausnehmbare Prozesskammer zur einfachen Reinigung
• Automatische Schutzeinrichtung
• Kurze Taktzyklen
• Direkt integrierbar in automatische Produktionslinien
• Einfache manuelle Bedienung durch ergonomischen Aufbau
• Integrierte Vorratstanks für die Medien (Lack, Resist, Lösemittel, etc.)
• Variable Programmsteuerung
• Display zur Bedienerführung und Maschinenzustandsanzeige
• Unterschiedliche Substratgrößen und -formen
• Substrathalter nach Kundenwunsch, z.B. Vakuum, Klemmen, o.ä.
• Einfache Anpassung an Kundenanforderungen
• Kompakte Abmessungen

Technische Daten:

• Drehzahl bis 6.000 1/min mit programmierbarem Drehzahlverlauf
• Abmessungen: 700 x 700 x 2000 mm (BxTxH)
• Notwendige Prozessmedien:
  • Druckluft: 6..12bar
  • Strom 230VAC/1kVA
  • Flow-Feld
  • Abluft ca. 80..150m³/h
  • Abluftanschluß NW100